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是否进口:否 | 产地:日本 | 加工定制:否 |
类型:旋转涂布机 | 品牌:MIKASA | 用途:无 |
型号:MS-B150 |
膜厚测量装置FILMETRICS制 F50光刻剂OFPR-800LB(东京奥卡制造)基板尺寸6 inch硅晶圆目标膜厚1微米膜厚分布±0.6% |
功能
■ 采用AC伺服电动机
● 无刷式,不会造成无尘室汚染。
● 减少电动机发热,也减少因连续使用时的温度上升造成对膜厚再现性的影响。
● 电力消费低,减低环境的负担。
■ 扩张程序功能
● 最多有100阶段程序、可记忆10种模式,更容易使用。
■ 所有机型皆标准配备数字式真空计
■ 方形基板等可设定停止时位置,超方便
■ 安全装置机构(真空压及盖子)
● 由于薄膜或晶圆容易破裂, 而降低吸附压力时,可以变更安全装置机构(真空)的稼动压力。
苏州代理MIKASA旋转涂布机 MS-B150
无锡代理MIKASA旋转涂布机 MS-B150
昆山代理MIKASA旋转涂布机 MS-B150
上海代理MIKASA旋转涂布机 MS-B150
南京代理MIKASA旋转涂布机 MS-B150
刷涂机、刮涂机、喷涂机
联系人:李先生 13402684488(微信同号)
对准曝光机
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋转涂布机
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200(密封)、MS-B300( 密封)
显影刻蚀装置